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電容位移傳感器四大特性

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廣東 深圳市

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詳細說明

電容位移傳感器廣泛用于金屬薄片厚度測量,振動測量,工作臺垂直度(Straighness)和平坦度(flatness)測量,精密馬達轉軸偏振測量(Axial、Radial、Spindle runout),精密儀器工作平臺定  位,設備自動***測量(微影設備,原子力顯微鏡,光罩探測,圖像確認,LCD生產設備…)


電容式位移傳感器特性:

1、非接觸式電容式微位移測量—準確的電子感應技術,無損樣品測量;

2、優化的近距離測量—測量距離在10微米到5毫米;

3、高準確性,高靈敏性測量,精度可達0.5nm;

4、可探測任何可傳導性、接地的測量目標—表面是否拋光以及材質對測量準確度無任何影響。


設備性能及主要參數:

1、量程:±25μm 到±1000μm滿量程測量

2、分辨率:優于2 nm (r.m.s.) @ 1 kHz

3、帶寬:1 kHz、5 kHz、20 kHz、100 kHz 可選


更多產品信息來源:http://www.dymek.com.cn/SonList-2174195.html

https://www.chem17.com/st110205/erlist_2174195.html


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