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SC200-SE精密勻膠機 旋涂儀 甩膠臺 旋轉薄膜機

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SC200-SE精密勻膠機 旋涂儀 甩膠臺 旋轉薄膜機的詳細描述:
     SmartCoater®精密勻膠機是一種小型、靈活和經濟的晶圓底物旋轉勻膠設備,它可以實現價值百萬美元設備(track)的上才可能達到穩定性和均勻性。

不銹鋼外殼比塑料或者鍍漆金屬更耐久和美觀;工業級別400瓦伺服電機系統,采用于track設備相同設計和程序,使您的工藝更具有實際應用意義;同類產品中領先的最大達到50000rpm/s的旋轉加速度,確保旋轉勻膠的穩定和極高的可重復性。
勻膠機,旋涂儀
特性優點:
  • 最新的內部緊湊設計,縮小了設備的尺寸。
  • 7"觸屏控制面板操作系統,更方便操作。
  • Telon ®/polyethylene “密閉碗設計可適合各種材料勻膠工藝。
  • 標準配置轉速5000rpm,并可根據用戶需要進行定制。
  • 采用工業級別伺服電機,電機設計避免光刻膠等污染物進入電機內部。
  • 機身選用耐酸堿、耐沖擊、耐腐蝕不銹鋼,永不生銹,便于清洗。
  • 排風和抽氣系統位計于載片臺之底部 (以利于排風效率和勻膠均一性
  • 透明可視,耐化學腐蝕的密封蓋,可以在旋涂作業時完全隔絕光阻的溢出有效隔絕有毒氣味的散發。
主要性能指標:
  • 主機機箱采用不銹鋼材料(抗化學腐蝕易清潔)
  • 旋涂程序:最多存100組程序,每組100步,每個步驟可精確到0.1
  • 轉動速度:0-5,000rpm(可選更高速)
  • 旋涂加速度:0-50,000rpm/sec(空載)
  • 馬達旋涂轉速穩定性能誤差 < ±1%
  • 轉速調節精度<1rpm,重復性< 1rpm
  • 工藝時間設定: 0-3,000 sec/step,時間設置精度:0.1sec
  • 支持wafer尺寸1cm-300mm
  • 旋涂作業均勻性:< ±3% 6英寸范圍內需要去除邊緣3毫米區域測量)
  • 設備尺寸  47cm W × 60cm D × 30cm H

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