高溫焚化設備的工作原理：把有機廢氣加熱升溫至680～760℃，使廢氣中的VOC氧化分解，成為無害的CO2和H2O；氧化時的高溫氣體的熱量被蓄熱體“貯存”起來，用于預熱新進入的有機廢氣，從而節省升溫所需要的燃料消耗，降低運行成本。

蓄熱式熱氧化器采用熱氧化法處理中低濃度的有機廢氣，用陶瓷蓄熱床換熱器回收熱量。其由陶瓷蓄熱床、自動控制閥、燃燒室和控制系統等組成。其主要特征是：蓄熱床底部的自動控制閥分別與進氣總管和排氣總管相連，蓄熱床通過換向閥交替換向，將由燃燒室出來的高溫氣體熱量蓄留，并預熱進入蓄熱床的有機廢氣；采用陶瓷蓄熱材料吸收、釋放熱量；預熱到一定溫度（≥760℃）的有機廢氣在燃燒室發生氧化反應，生成二氧化碳和水，得到凈化。

運行原理：

1.初始熱機；從新風閥中進風，打開燃燒器；使用小風量新風預熱RTO蓄熱層，待符合需求溫度，通工藝廢氣。工藝廢氣經過蓄熱室1預熱，在燃燒室溫度被抬高到760℃以上，自身氧化釋放能量，若廢氣濃度較高則無需添加燃料；若濃度不夠，則需要補充額外燃料，使燃燒室溫度維持在需求分解溫度。工藝有機廢氣被分解為H20和CO2，通過蓄熱室2，蓄熱室2與高溫氣體進行熱交換，將溫度儲存在蓄熱室2內。廢氣通過蓄熱室2后，排向煙囪。

2.待蓄熱室2溫度慢慢升高，蓄熱室1溫度慢慢下降，當蓄熱室1溫度達不到廢氣預熱需求（反饋在蓄熱體下層的出風溫度）。則切換提升閥，使用蓄熱室2和蓄熱室3，氣體依次通過蓄熱室2和蓄熱室3，完成氧化分解過程。

3.通過切換閥的位置控制，蓄熱室2，3工作時，蓄熱室1內形成負壓，將殘留在蓄熱室內的未分解廢氣抽向主風機前端，進入系統進行復燒。整個過程在負壓系統中完成，無廢氣的泄露。處理效率可在99%以上。

4.蓄熱室1，2，3通過切換閥的切換，周而復始的進行蓄熱；放熱；清掃的過程，持續進行有機廢氣的分解。

5.視工廠需求怎樣的熱源系統，可實現熱空氣-導熱油；熱空氣-熱水；熱空氣-蒸汽；熱空氣-熱空氣的換熱，實現余熱回收，增加經濟效益。